Se realizo un estudio estadístico cuantitativo en imágenes obtenidas con un Microscopio de Fuerza Atómica (AFM) de películas delgadas de La2/3Ca1/3MnO3 (LCMO). Las películas fueron crecidas mediante la técnica de Sputtering DC a altas presiones oxígeno, con un espesor de 78nm sobre substrato monocristalino de (100)-SrTiO3 variando sistemáticamente la temperatura deposición (Td). Las películas fueron caracterizadas por medidas resistencia en función de la temperatura para determinar la temperatura de transición metal-aislante (TMI). Se realizo un análisis morfológico a las muestras mediante la técnica de Microscopia de Fuerza Atómica. De las imágenes digitalizadas se obtuvo el valor de exponente de rugosidad (α), longitud de correlación (ξ//) y Rugosidad de saturación (σsat). A partir de la caracterización eléctrica y morfológica, se correlacionaron los parámetros de rugosidad para cada temperatura de deposición. Se encontró que al aumentar Td, el exponente de rugosidad (α) aumenta indicando un aumento del ordenamiento estructural debido a los procesos difusivos. De la caracterización eléctrica se obtuvo que la temperatura de transición metal-aislante (TMI) aumenta a medida que aumenta Td, lo cual corrobora el aumento de ordenamiento estructural.